山西太钢成功申请一项名为“半导体制造设备用高纯316L不锈钢及其生产方法”专利
2026年6月30日，山西太钢不锈钢股份有限公司成功申请一项名为“半导体制造设备用高纯316L不锈钢及其生产方法”专利，申请公布号为CN122303723A，申请日期为2026年4月1日。
该发明公开了一种半导体制造设备用高纯316L不锈钢及其生产方法。属于钢铁冶金技术领域。
该发明采用铁水预处理+转炉粗炼+VOD真空精炼+LF精炼+模铸+真空自耗VAR单真空工艺路线，通过源头控杂、深脱碳脱氧、精准控温、优化凝固与单真空精炼，实现钢中超低氧、氢、硫含量及微量夹杂物控制，制备的不锈钢各项指标完全满足半导体设备严苛要求。本发明工艺流程简洁、制造成本低、产业化可行性高，实现国产化替代，提升半导体产业链自主可控能力。（来源：国家知识产权局）
编辑：海燕
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